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用途特點：

本產(chǎn)品適用于半導體加工，該烘箱采用垂直熱循環(huán)方式，進行精確的溫度控制。

技術(shù)特點： 

采用垂直送風系統(tǒng)，垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部，與傳統(tǒng)安裝方式相比，減少安裝空間20-60%。提高生產(chǎn)線生產(chǎn)效率，節(jié)省設備空間；

內(nèi)腔采用SUS304拉絲板，并且為整體式焊接工藝，保證了烘箱在運行時的腔體內(nèi)清潔和預防了產(chǎn)品表面的沾污；

內(nèi)門結(jié)構(gòu)后門為單結(jié)構(gòu)，采用雙密封結(jié)構(gòu)，防止熱量流失；

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現(xiàn)微調(diào)；

大容積的設計，由于改進了隔斷和支撐板，可以同時承受更多的產(chǎn)品重量；

優(yōu)異的熱工性能，使加熱性能大大提高,運行時不會影響環(huán)境，室內(nèi)溫度保持不變。

過程控制：

多段式程序控制，完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實時溫度監(jiān)控軟件，可實現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等，提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設備特點：

堅持工藝優(yōu)先的設計原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置，再確定設備結(jié)構(gòu)和布局，以確保工藝最穩(wěn)定，材料利用最合理，力求提升設備穩(wěn)定性和降低運行成本；

本著人性化的設計理念,即在細節(jié)上充分考慮現(xiàn)場情況，并不斷完善設計，使現(xiàn)場使用者更加方便地使用，維護本烘箱；

可以提供各種標準和非標準腔體設計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件；

可定制層板，滿足承重與間距要求；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準；

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控；

提供相應的檢測報告，烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等；

配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說明。

基本功能配置：

電源缺相保護；

漏電保護器；

電磁門鎖（氣缸門鎖）；

過載保險絲；

超溫保護器；

加熱器防干燒；

馬達轉(zhuǎn)速檢測；

N2壓力檢測；

N2過濾調(diào)壓閥；

選配功能：

在線氧含量檢測；

N2流量檢測；

高低溫表設定聯(lián)動；

腔體壓力檢測；

自動排風裝置；

廢氣沉淀回收裝置；